539 Т 485 Ткачук, Борис Васильевич. Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы / Б. В. Ткачук, В. М. Колотыркин. - Москва : Химки, 1977. - 214 с. : граф., табл., рис. - Библиогр. в конце гл. - 2.56 р.
Дескрипторы: полимерные пленки -- электропроводность -- диэлектрические свойства -- интегральные схемы -- изготовление -- применение -- пиролиз -- деструкция (хим.) -- Пленки тонкие Доп.точки доступа: Колотыркин, Владимир Михайлович Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |