621.38 О-584 Онегин, Евгений Евгеньевич. Точное машиностроение для микроэлектроники [Текст] / Евгений Евгеньевич Онегин. - М. : Радио и связь, 1986. - 86с. - (Массовая б-ка инженера"Электроника"). - 25 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные.производство -- Электронная промышленность.оборудование Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |