621.38 М 13 Мазель, Евгений Зиновьевич. Планарная технология кремниевых приборов [Текст] / Евгений Зиновьевич Мазель, Феликс Павлович Пресс. - М. : Энергия, 1974. - 384с. + черт. - Библиогр.:с.368-382. - 1.27 р.
Кл.слова (ненормированные): Полупроводниковые приборы.производство Доп.точки доступа: Пресс, Феликс Павлович Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |