621.38 Д 18 Данилин, Борис Степанович. Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] / Под общ.ред.Р.А.Нилендера. - М. : Энергия, 1972. - 256с. + черт. - Библиогр.:с.245-254. - 89 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные.производство -- Пленки тонкие.получение Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 К 43 Киреев, Валерий Юрьевич. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур [Текст] / Валерий Юрьевич Киреев, Борис Степанович Данилин, В. И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126с. - 35 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные.травление Доп.точки доступа: Данилин, Борис Степанович; Кузнецов, В. И. Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 Д 182 Данилин, Борис Степанович. Ионное травление микроструктур [Текст] / Борис Степанович Данилин, Валерий Юрьевич Киреев. - М. : Сов.радио, 1979. - 103с. - (Массовая б-ка инженера"Электроника". Вып.21). - 30 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные.производство Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 Д 18 Данилин, Борис Степанович. Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] / Борис Степанович Данилин. - М. : Энергия, 1977. - 136с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры. Вып.10). - Библиогр.:с.128-134. - 42 р.
Кл.слова (ненормированные): Микросхемы пленочные.производство -- Пленки тонкие.получение Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 Д 182 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Борис Степанович Данилин. - М. : Энергоатомиздат, 1989. - 327с. : ил. - Библиогр.:с.316-324. - ISBN 5-283-03939-0 : 3.60 р. Загл.корешка:Применение плазмы...
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные.производство -- Пленки тонкие.осаждение -- Электронно-ионная технология Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
533 Д 182 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - Библиогр.:с.252-260. - 1.40 р.
Кл.слова (ненормированные): плазма (физика) -- травление металлов -- очистка металлов Экземпляры всего: 1 АБН (1) Свободны: АБН (1) |
539 Д 182 Данилин, Борис Степанович. Вакуумное нанесение тонких пленок / Б. С. Данилин; Под общ. ред. проф. Р. А. Нилендера. - Москва : Энергия, 1967. - 312 с. : ил. - Библиогр.: с. 304-311 (166 назв.). - 1.10 р.
Кл.слова (ненормированные): Пленки тонкие -- Физика тонких пленок Доп.точки доступа: Нилендер, Р. А. \ред.\ Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |