621.38 Б69 Блинов, Иван Григорьевич. Оборудование полупроводникового производства : учебное пособие для вузов / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 264 с. - 1.00 р.
Кл.слова (ненормированные): Полупроводниковые приборы (производство) Доп.точки доступа: Кожитов, Лев Васильевич Экземпляры всего: 1 АБУ (1) Свободны: АБУ (1) |