621.38 Б 48 Березин, Геннадий Николаевич. Оптические основы контактной фотолитографии [Текст] / Геннадий Николаевич Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. - М. : Радио и связь, 1982. - 103с. : ил. - (Массовая б-ка инженера"Электроника". Вып.33). - Библиогр.:с.98-101. - 30 р.
Рубрики: Фотолитография Кл.слова (ненормированные): Фотолитография Доп.точки доступа: Никитин, А. В.; Сурис, Р. А. Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |