621.38 В 15 Валиев, Камиль Ахметович. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / Камиль Ахметович Валиев, Александр Васильевич Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 350с. : ил. - Библиогр.:с.338-347. - 2.80 р.
Рубрики: Фотолитография Микроэлектронные схемы интегральные-Производство Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные.производство -- Литография субмикронная -- Фотолитография Доп.точки доступа: Раков, Александр Васильевич Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 Б 48 Березин, Геннадий Николаевич. Оптические основы контактной фотолитографии [Текст] / Геннадий Николаевич Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. - М. : Радио и связь, 1982. - 103с. : ил. - (Массовая б-ка инженера"Электроника". Вып.33). - Библиогр.:с.98-101. - 30 р.
Рубрики: Фотолитография Кл.слова (ненормированные): Фотолитография Доп.точки доступа: Никитин, А. В.; Сурис, Р. А. Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |