533 Д 182 Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : ил. - Библиогр.:с.252-260. - 1.40 р.
Кл.слова (ненормированные): плазма (физика) -- травление металлов -- очистка металлов Экземпляры всего: 1 АБН (1) Свободны: АБН (1) |