62 Н 254 Нанотехнологии в микроэлектронике : научное издание / Юж. федер. ун-т, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения ; ред.: О. А. Агеев, Б. Г. Коноплева. - Москва : Наука, 2019. - 511 с. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-02-040201-0 : 613.20 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектроника -- нанотехнологии в микрорэлектронике -- нанотрубки -- нанодиагностика -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- микроскопия зондовая -- нанолитография зондовая -- ионные пучки -- электронно-лучевая обработка Доп.точки доступа: Агеев, О. А. \ред.\; Коноплева, Б. Г. \ред.\; Южный федеральный университет; Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения Экземпляры всего: 1 АБН (1) Свободны: АБН (1) |