537 Д 699 Дорфман, В. Ф. Микрометаллургия в микроэлектронике : Принципы технологии в полупроводниковом приборостроении / В. Ф. Дорфман. - Москва : Металлургия, 1978. - Б. ц.
Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- микрометаллургия -- микроэлектроника Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |