621.38 Я 658 Янушонис, Стяпас Стяпонович. Самоформирование в полупроводниковой технологии / С. С. Янушонис, В.-К. Ю. Янушонене ; Институт физики полупроводников. - Вильнюс : Мокслас, 1985. - 191 с. - Библиогр.: с. 184-189. - 2.00 р., 2.00 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные. производство -- Полупроводниковые приборы. производство Доп.точки доступа: Янушонене, Вида-Катрина Юлевна; Институт физики полупроводников Экземпляры всего: 3 Х (1), АБН (2) Свободны: Х (1), АБН (2) |
621.38 Ф 17 Файнштейн, Семен Мирович. Обработка и защита поверхности полупроводниковых приборов / Семен Мирович Файнштейн. - 3-е изд. перераб. - М. : Энергия, 1970. - 296с. : ил. - Библиогр.:с.286-295. - 0.97 р.
Кл.слова (ненормированные): Полупроводниковые приборы. производство -- Полупроводники. качество поверхности Экземпляры всего: 1 АБН (1) Свободны: АБН (1) |