621.38 Б 51 Берри, Р. Тонкопленочная технология [Текст] / Пер.с англ.В.И.Генкина,Е.И.Гиваргизова. - М. : Энергия, 1972. - 336с. : ил. - Библиогр.:с.329-335. - 1.50 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные.производство -- Пленки тонкие.получение Доп.точки доступа: Холл, П.; Гаррис, М. Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 Д 18 Данилин, Борис Степанович. Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] / Под общ.ред.Р.А.Нилендера. - М. : Энергия, 1972. - 256с. + черт. - Библиогр.:с.245-254. - 89 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные.производство -- Пленки тонкие.получение Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 К 66 Корзо, Виктор Федорович. Пленки из элементоорганических соединений в радиоэлектронике [Текст] / Виктор Федорович Корзо, В. А. Курочкин, В. П. Демин. - М. : Энергия, 1973. - 191с. : ил. - Библиогр.:с.174-190. - 54 р.
Кл.слова (ненормированные): Элементоорганические соединения.разложение -- Пленки тонкие.получение Доп.точки доступа: Курочкин, В. А.; Демин, В. П. Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 Д 18 Данилин, Борис Степанович. Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] / Борис Степанович Данилин. - М. : Энергия, 1977. - 136с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры. Вып.10). - Библиогр.:с.128-134. - 42 р.
Кл.слова (ненормированные): Микросхемы пленочные.производство -- Пленки тонкие.получение Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |