621.38 Т46 Тихонов, Юрий Николаевич. Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства [Текст] : учеб.пособие / Моск.ин-т радиотехники,электроники и автоматики. - М. : МИРЭА, 1977. - 116с. : ил. - 20 р.
Рубрики: Полупроводники-Производство,Микроэлектронные схемы-Производство Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы.производство -- Полупроводники.производство Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 Г 74 Готра, Зенон Юрьевич. Справочник по технологии микроэлектронных устройств [Текст] / Зенон Юрьевич Готра. - Львов : Каменяр, 1986. - 287с. - 1 р.
Кл.слова (ненормированные): Справочные издания -- Микроэлектронные схемы.производство Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 Г 52 Глазков, Илья Михайлович. Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии [Текст] / Илья Михайлович Глазков. - М. : Сов.радио, 1975. - 73с. : ил. - (Массовая б-ка инженера"Электроника"). - Библиогр.:с.69-72. - 21 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы.производство -- Фотолитография -- Фотошаблоны.производство Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 Т 384 Технология толстых и тонких пленок [Текст] : сб.ст:Пер.с англ. / Под.ред.А.Рейсмана,К.Роуза. - М. : Мир, 1972. - 174с. - 2.06 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы.производство Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |