621.38 Ч-498 Черняев, Александр Владимирович. Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия [Текст] / Александр Владимирович Черняев. - М. : Радио и связь, 1990. - 85с. - ISBN 5-256-00740-8 : 1 р.
Кл.слова (ненормированные): Полупроводниковые приборы.производство -- Галлий.легирование ионное -- Арсенид.легирование ионное Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |