621.38
Ч-498


    Черняев, Александр Владимирович.
    Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия [Текст] / Александр Владимирович Черняев. - М. : Радио и связь, 1990. - 85с. - ISBN 5-256-00740-8 : 1 р.
УДК
РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
Полупроводниковые приборы.производство -- Галлий.легирование ионное -- Арсенид.легирование ионное

Экземпляры всего: 1
Х (1)
Свободны: Х (1)