537 С 130 Савинов, Владимир Павлович. Физика высокочастотного емкостного разряда / В. П. Савинов. - Москва : Физматлит, 2013. - 307 с. : ил. ; 23 см. - Библиогр.: с. 297-307. - 250 экз. - ISBN 978-5-9221-1551-3 : 400 р.
Кл.слова (ненормированные): Высокочастотный разряд - Исследование -- приэлектронные слои -- электрическое поле -- электронные пучки -- плазма газоразрядная Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |