621.38 Э 455 Электронно-и ионнолучевая технология [Текст] : труды 1-й междунар.конф.по теории и технологии обработки электрон.и ионными пучками / Ред.Н.А.Ольшанский. - М. : Металлургия, 1968. - 443с. - 1.76 р.
Кл.слова (ненормированные): Ионные пучки -- Ионнолучевая технология Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
621.38 Ф 505 Физическая электроника.Модификация свойств тонких пленок ионными пучками [Текст] : сб.ст. / Каунас.политехн.ин-т им.А.Снечкуса. - Вильнюс : [б. и.], 1979. - 104с. - 50 р.
Кл.слова (ненормированные): Ионные пучки -- Электроника физическая Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
62 Н 254 Нанотехнологии в микроэлектронике : научное издание / Юж. федер. ун-т, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения ; ред.: О. А. Агеев, Б. Г. Коноплева. - Москва : Наука, 2019. - 511 с. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-02-040201-0 : 613.20 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектроника -- нанотехнологии в микрорэлектронике -- нанотрубки -- нанодиагностика -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- микроскопия зондовая -- нанолитография зондовая -- ионные пучки -- электронно-лучевая обработка Доп.точки доступа: Агеев, О. А. \ред.\; Коноплева, Б. Г. \ред.\; Южный федеральный университет; Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения Экземпляры всего: 1 АБН (1) Свободны: АБН (1) |