621.38 П 58 Попов, В. К. Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии [Текст] / В. К. Попов, С. Н. Ячменев. - М. : Радио и связь, 1985. - 127с. - (Библиотека технологий радиоэлектронной аппаратуры). - Библиогр.:с.124-126. - 45 р.
Кл.слова (ненормированные): Литография ионная -- Литография электронная Доп.точки доступа: Ячменев, С. Н. Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |
62 К 650 Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Г. С. Константинова, В. Н. Лозовский, Л. С. Лунин, С. Н. Лозовский. - Ростов-на-Дону : Терра-Принт, 2008. - 114 с. : ил. - Библиогр.: с. 110-111. - ISBN 978-5-903286-20-1 : 70 р.
Кл.слова (ненормированные): НАНОЛИТОГРАФИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННАЯ -- ИМПРИНТ-ЛИТОГРАФИЯ -- ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ -- АТОМНО-ЛУЧЕВАЯ ГОЛОГРАФИЯ -- НАНОПРОВОЛОКИ -- МОЛЕКУЛЫ ДНК Доп.точки доступа: Константинова, Галина Серафимовна; Лозовский, Владимир Николаевич; Лунин, Леонид Сергеевич; Лозовский, Сергей Владимирович Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |