Главная Упрощенный режим

Базы данных


Основная библиотечная БД - результаты поиска

Вид поиска
Основная библиотечная БД
Труды учёных ПГНИУ
Диссертации
Журналы
Рациональное природопользование
Иностранная периодика
Дореволюционная периодика
Библиотека юридичеcкого факультета (статьи)
Туризм
История Пермского университета
Продолжающиеся издания
Музейный книжный фонд
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>A=Данилина, Т. И.$<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
13950

    Данилина, Т. И.
    Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Данилина Т. И. - Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011. - 96 с. - ISBN 978-5-91191-202-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
УДК
621.382
ББК 32.852

Кл.слова (ненормированные):
куф-диапазон -- нанолитография -- наноэлектроника -- оптическая литография -- уф-диапазон -- эуф-диапазон
Аннотация: Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов

Перейти: Перейти к просмотру издания

Доп.точки доступа:
Чистоедова, И. А.
Свободных экз. нет
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
Статистика
за 13.07.2024
Число запросов 22402
Число посетителей 445
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)