Главная Упрощенный режим

Базы данных


Основная библиотечная БД - результаты поиска

Вид поиска
Основная библиотечная БД
Труды учёных ПГНИУ
Диссертации
Журналы
Рациональное природопользование
Иностранная периодика
Дореволюционная периодика
Библиотека юридичеcкого факультета (статьи)
Туризм
История Пермского университета
Продолжающиеся издания
Музейный книжный фонд
Область поиска
 Найдено в других БД:Журналы (1)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.
   1568673
   

    Шрамченко, Ю. С.
    Синтез и свойства тонкопленочных гетероструктур на основе ниобия, олова, индия : автореферат дис. ... канд. хим. наук : 02.00.21 / Ю. С. Шрамченко ; Воронеж. гос. ун-т. - Воронеж, 2009. - 17 с.
Кл.слова (ненормированные):
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ (ИССЛЕДОВАНИЯ) -- СИСТЕМЫ НА ОСНОВЕ НИОБИЯ (СИНТЕЗ) -- ДВУХСЛОЙНЫЕ ПЛЕНОЧНЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ ОЛОВО-НИОБИЙ -- МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ ИНДИЙ-НИОБИЙ -- ПЛЕНКИ СЛОЖНЫХ ОКСИДОВ  -- ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА (ИЗУЧЕНИЕ) -- ГЕТЕРОФАЗНЫЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ -- ЭЛЕКТОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИФРАКЦИЯ

Экземпляры всего: 1
Х (1)
Свободны: Х (1)
Найти похожие
2.
31877

    Берлин, Б. В.
    Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением [Текст] / Берлин Б. В. - Москва : Техносфера, 2014. - 256 с. - ISBN 978-5-94836-369-1 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
УДК
621.78
ББК 34.65

Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- нанесение покрытия -- реактивное распыление -- тонкая пленка
Аннотация: Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Перейти: Перейти к просмотру издания

Доп.точки доступа:
Сейдман, Л. А.
Свободных экз. нет
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
Статистика
за 05.07.2024
Число запросов 37983
Число посетителей 430
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)