Главная Упрощенный режим

Базы данных


Основная библиотечная БД - результаты поиска

Вид поиска
Основная библиотечная БД
Труды учёных ПГНИУ
Диссертации
Журналы
Рациональное природопользование
Иностранная периодика
Дореволюционная периодика
Библиотека юридичеcкого факультета (статьи)
Туризм
История Пермского университета
Продолжающиеся издания
Музейный книжный фонд
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=ТРАВЛЕНИЕ СУХОЕ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
   621.38
   В 240

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] / [под общ. ред. Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011 - . - (Нанотехнологии).
   Т. 2 : Технологические аспекты / [М. В. Акуленок и др.]. - 2011. - 252 с. : ил. - Библиогр.: с. 243-248 (110 назв.) и в подстроч. примеч. - ISBN 978-5-9963-0336-6 (в пер.) : 290.95 р.
ГРНТИ
47.01.33
УДК
621.38-022.532
621.382.049.77](075.8)
Рубрики: Электроника--Учебные издания для высших учебных заведений
Кл.слова (ненормированные):
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА (ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ) -- ТРАВЛЕНИЕ СУХОЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ (ФОРМИРОВАНИЕ) -- НАНОРЕЛЬЕФ -- ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ


Доп.точки доступа:
Акуленок, Марина Викторовна \сост.\
Экземпляры всего: 1
Х (1)
Свободны: Х (1)
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
Статистика
за 09.07.2024
Число запросов 13706
Число посетителей 447
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)