Научная Библиотека Пермского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Базы данных

Основная библиотечная БД - результаты поиска

Вид поиска

Основная библиотечная БД

Труды учёных ПГНИУ

Диссертации

Журналы

Рациональное природопользование

Иностранная периодика

Дореволюционная периодика

Библиотека юридичеcкого факультета (статьи)

Туризм

История Пермского университета

Продолжающиеся издания

Музейный книжный фонд

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=нанолитография<.>)

Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5

   621.38
   Л 724

    Лозовский, Владимир Николаевич.
    Нанотехнология в электронике. Введение в специальность : учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по специальности 210601 "Нанотехнология в электронике" / В. Н. Лозовский, Г. С. Константинова, С. В. Лозовский. - 2-е изд., испр. - Санкт-Петербург ; Москва ; Краснодар : Лань, 2008. - 336 с. : ил. - (Учебники для вузов. Специальная литература). - Библиогр.: с. 319. - Предм. указ.: с. 320-323. - ISBN 978-5-8114-0827-6 : 226.70 р., 226.70 р.

ГРНТИ	47.01.33
УДК	621.38-022.532(075.8)

Рубрики: Электроника--Учебные издания для высших учебных заведений
Кл.слова (ненормированные):
КВАНТОВАЯ ФИЗИКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СВЕРХРЕШЕТКИ -- ПРИБОРЫ ОДНОЭЛЕКТРОННЫЕ -- СПИНТРОНИКА -- МОЛЕКУЛЯРНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОЛИТОГРАФИЯ -- НАНОТЕХНОЛОГИИ ЗОНДОВЫЕ -- НАНОТРУБКИ -- ПОДГОТОВКА ИНЖЕНЕРНЫХ КАДРОВ В ВУЗЕ

Доп.точки доступа:
Константинова, Галина Серафимовна; Лозовский, Сергей Владимирович
Экземпляры всего: 3
Х (1), ЧЗЕ (1), АБУ (1)
Свободны: Х (1), ЧЗЕ (1), АБУ (1)
Найти похожие

   62
   К 650


    Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Г. С. Константинова, В. Н. Лозовский, Л. С. Лунин, С. Н. Лозовский. - Ростов-на-Дону : Терра-Принт, 2008. - 114 с. : ил. - Библиогр.: с. 110-111. - ISBN 978-5-903286-20-1 : 70 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	620.3:655.342

Рубрики: Нанолитография--Методы
Кл.слова (ненормированные):
НАНОЛИТОГРАФИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННАЯ -- ИМПРИНТ-ЛИТОГРАФИЯ -- ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ -- АТОМНО-ЛУЧЕВАЯ ГОЛОГРАФИЯ -- НАНОПРОВОЛОКИ -- МОЛЕКУЛЫ ДНК

Доп.точки доступа:
Константинова, Галина Серафимовна; Лозовский, Владимир Николаевич; Лунин, Леонид Сергеевич; Лозовский, Сергей Владимирович
Экземпляры всего: 1
Х (1)
Свободны: Х (1)
Найти похожие

   62
   С 773

    Старостин, Виктор Васильевич.
    Материалы и методы нанотехнологии : учебное пособие / В. В. Старостин ; ред. Л. Н. Патрикеев. - Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2008. - 431 с. - (Нанотехнология). - Библиогр.: с. 424-426. - ISBN 978-5-94774-727-0 : 222.00 р., 222.00 р.

ГРНТИ	81.01
УДК	620.3(075.8)

Рубрики: Нанотехнология--Учебные издания для высших учебных заведений
Кл.слова (ненормированные):
НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- ФУЛЛЕРЕНЫ -- УГЛЕРОДНЫЕ НАНОТРУБКИ -- НАНОМАТЕРИАЛЫ -- НАНОСТРУКТУРЫ -- ЗОНДОВАЯ НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- НАНОЛИТОГРАФИЯ

Доп.точки доступа:
Патрикеев, Л. Н. \ред.\
Экземпляры всего: 2
Х (1), ЧЗЕ (1)
Свободны: Х (1), ЧЗЕ (1)
Найти похожие

13950

Данилина, Т. И.
Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Данилина Т. И. - Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011. - 96 с. - ISBN 978-5-91191-202-3 : Б. ц.
Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.

УДК

621.382

ББК 32.852

Кл.слова (ненормированные):
куф-диапазон -- нанолитография -- наноэлектроника -- оптическая литография -- уф-диапазон -- эуф-диапазон
Аннотация: Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов

Перейти: Перейти к просмотру издания

Доп.точки доступа:
Чистоедова, И. А.
Свободных экз. нет
Найти похожие

   62
   Н 254


    Нанотехнологии в микроэлектронике : научное издание / Юж. федер. ун-т, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения ; ред.: О. А. Агеев, Б. Г. Коноплева. - Москва : Наука, 2019. - 511 с. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-02-040201-0 : 613.20 р.

ГРНТИ	47
УДК	620.3

Рубрики: Радиоэлектронная аппаратура
Кл.слова (ненормированные):
Микроэлектроника -- нанотехнологии в микрорэлектронике -- нанотрубки -- нанодиагностика -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- микроскопия зондовая -- нанолитография зондовая -- ионные пучки -- электронно-лучевая обработка

Доп.точки доступа:
Агеев, О. А. \ред.\; Коноплева, Б. Г. \ред.\; Южный федеральный университет; Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
Экземпляры всего: 1
АБН (1)
Свободны: АБН (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

Статистика за 13.07.2024
Число запросов	26040
Число посетителей	459
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)