Научная Библиотека Пермского Государственного Университета

Главная

Упрощенный режим

Базы данных

Основная библиотечная БД - результаты поиска

Вид поиска

Основная библиотечная БД

Труды учёных ПГНИУ

Диссертации

Журналы

Рациональное природопользование

Иностранная периодика

Дореволюционная периодика

Библиотека юридичеcкого факультета (статьи)

Туризм

История Пермского университета

Продолжающиеся издания

Музейный книжный фонд

Область поиска

Найдено в других БД:

Журналы (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 1568673/
Автор(ы) : Шрамченко Ю. С.
Заглавие : Синтез и свойства тонкопленочных гетероструктур на основе ниобия, олова, индия : автореферат дис. ... канд. хим. наук : 02.00.21
Выходные данные : Воронеж, 2009
Колич.характеристики :17 с
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленочные гетероструктуры (исследования)--системы на основе ниобия (синтез)--двухслойные пленочные гетероструктуры--металлические системы олово-ниобий--металлические системы индий-ниобий--пленки сложных оксидов --оптические свойства (изучение)--гетерофазные взаимодействия--электофизические свойства--магнетронное распыление--рентгеновская дифракция
Экземпляры :Х(1)
Свободны : Х(1)
Найти похожие

Вид документа :
Шифр издания : 31877
Автор(ы) : Берлин Б. В.
Заглавие : Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Выходные данные : Москва: Техносфера, 2014
Колич.характеристики :256 с
Примечания : Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
ISBN, Цена 978-5-94836-369-1: Б.ц.
УДК : 621.78
ББК : 34.65
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): магнетронное распыление--нанесение покрытия--реактивное распыление--тонкая пленка
Аннотация: Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Перейти: Перейти к просмотру издания
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

Статистика за 09.07.2024
Число запросов	13258
Число посетителей	445
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)