Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Зинченко С. П., Ковтун А. П., Толмачев Г. Н., Заглавие : Особенности роста пленок в тлеющем разряде с убегающими электронами / С. П. Зинченко, А. П. Ковтун, Г. Н. Толмачев Место публикации : Письма в "Журнал технической физики". - 2014. - Т. 40, вып. 1. - С. С. 43-49: ил. - ISSN 0320-0116 Примечания : Библиогр.: с. 49 (7 назв.) УДК : 536.22/.23 ББК : 22.365. Таблицы для массовых библиотек Предметные рубрики: Физика Газы и жидкости Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки--тлеющие разряды--убегающие электроны--напыление--оптическое излучение--интенсивность излучения--рост пленок--двухслойные модели--поверхности--поверхностные слои--оптические однородности Аннотация: При напылении пленок в газовом разряде с пучком убегающих электронов впервые обнаружено аномальное поведение интенсивности отраженного от пленки на подложке зондирующего оптического излучения после выключения разряда. Интерпретация этого явления дается в рамках двухслойной модели роста пленки на подложке: в ходе напыления на поверхности пленки образуется оптически однородный поверхностный слой неизвестной природы, который полностью распадается после выключения разряда. Держатели документа: ГПНТБ России Доп.точки доступа: Ковтун, А. П.; Толмачев, Г. Н.