Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/Ф 503 Заглавие : Физика микроэлектронных приборов : сборник научных трудов Выходные данные : Москва, 1982 Колич.характеристики :93 с.: ил. Коллективы : Московский институт электронной техники Цена : 00.28 р. ГРНТИ : 29 УДК : 621.384 Предметные рубрики: Получение и применение активных и корпускулярных излучений (электронные приборы) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные приборы (физика) Экземпляры :Х(1) Свободны : Х(1) Доп.точки доступа: Московский институт электронной техники