Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 539/Д 182 Автор(ы) : Данилин, Борис Степанович Заглавие : Вакуумное нанесение тонких пленок Выходные данные : Москва: Энергия, 1967 Колич.характеристики :312 с.: ил Примечания : Библиогр.: с. 304-311 (166 назв.) Цена : 1.10 р. ГРНТИ : 29.19 УДК : 539.235:669.71 Предметные рубрики: Пленки тонкие Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки тонкие--физика тонких пленок Экземпляры :Х(1) Свободны : Х(1) Доп.точки доступа: Нилендер, Р. А. \ред.\