Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/Ч 563 Автор(ы) : Чехович, Евгений Казимирович Заглавие : Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники Выходные данные : Минск: Наука и техника, 1989 Колич.характеристики :213с.: ил. Примечания : Библиогр.:с.200-211 ISBN, Цена 5-343-00087-8: 1.70 р. УДК : 621.382.049.77.002 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оптоэлектронные приборы--микроэлектронная аппаратура--контрольно-измерительные инструменты оптоэлектронные Экземпляры :Х(1) Свободны : Х(1)