Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.38/Л 64 Автор(ы) : Литовченко, Владимир Григорьевич, Горбань, Анатолий Петрович Заглавие : Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник Выходные данные : Киев: Наук.думка, 1978 Колич.характеристики :315с.: ил. Примечания : Библиогр.:с.286-313 Цена : 3.30 р. УДК : 621.382.01 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): металл-диэлектрик-полупроводник Экземпляры :Х(1) Свободны : Х(1) Доп.точки доступа: Горбань, Анатолий Петрович