621.38 А 224 Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учебное пособие для студентов приборостроительных специальностей вузов / Р. В. Корнилов [и др.] ; ред. А. А. Сазонов. - Москва : Высшая школа, 1991. - 331 с. - 1.60 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектроника (техническое оборудование) -- Микроэлектроника (автоматизация) Доп.точки доступа: Корнилов, Ростислав Васильевич; Кохан, Николай Петрович; Сазонов, Александр Афанасьевич; Лукичев, Александр Юльевич; Осокин, Вячеслав Иванович; Таран, Валентин Анатольевич; Федукин, Владимир Александрович; Сазонов, Александр Афанасьевич \ред.\ Экземпляры всего: 1 АБУ (1) Свободны: АБУ (1) |