621.38 П 37 Плазменная технология в производстве СБИС [Текст] / Под ред.Н.Айнспрука,Д.Брауна;Пер.с англ.Ю.М.Золотарева,В.В.Юдина;Под ред.Е.С.Машковой. - М. : Мир, 1987. - 469с. : ил. - Библиогр.в конце глав. - 3.40 р. Предм.-имен.указ.:с.463-466
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие Доп.точки доступа: Толливер, Д.; Новицки, Р.; Хесс, Д. и др. Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |