621.38 О-224 Оборудование ионной имплантации / В. В. Симонов [и др.]. - М. : Радио и связь, 1988. - 182с. - ISBN 5-256-00007-1 : 0.70 р.
Кл.слова (ненормированные): Ионное легирование. установки Доп.точки доступа: Симонов, В. В.; Корнилов, Л. А.; Шашелев, А. В.; Шокин, Е. В. Экземпляры всего: 1 АБН (1) Свободны: АБН (1) |