30059 Филяк, М. М. Конструктивно-технологические основы микроэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие / Филяк М. М. - Оренбург : Оренбургский государственный университет, ЭБС АСВ, 2011. - 112 с. - Б. ц. Книга находится в Премиум-версии ЭБС IPRbooks.
Кл.слова (ненормированные): интегральная микросхема -- микроэлектроника -- технологическая операция Аннотация: В учебном пособии представлены общие сведения о технологии интегральных микросхем, дана их классификация и кратко описаны основные технологические операции. Основное внимание уделено технологии полупроводниковых микросхем. Рассмотрены также операции изготовления гибридных интегральных микросхем. Учебное пособие предназначено для студентов направлений подготовки 210200 – Проектирование и технология электронных средств и 210100 – Электроника и наноэлектроника. Перейти: Перейти к просмотру издания Свободных экз. нет |