621.38 Д 18 Данилин, Борис Степанович. Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] / Борис Степанович Данилин. - М. : Энергия, 1977. - 136с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры. Вып.10). - Библиогр.:с.128-134. - 42 р.
Кл.слова (ненормированные): Микросхемы пленочные.производство -- Пленки тонкие.получение Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |