621.3 М 744 Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло / Л. Н. Александров [и др.] ; ред. С. И. Стенин ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников. - Новосибирск : Наука , 1991. - 167 с. - Библиогр.: с. 151-162. - Указ.: с. 163-166 . - ISBN 5-02-029696-1 : 3.82 р., 3.82 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКИ (КРИСТАЛЛЫ) -- ПОЛУПРОВОДНИКИ (СТАТИСТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ИЗУЧЕНИЯ) -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ (ПОЛУЧЕНИЕ) Доп.точки доступа: Александров, Л. Н.; Бочкова, Р. В.; Коган, А. Н.; Тихонов, Н. П.; Стенин, С. И. \ред.\; Академия наук СССР. Сибирское отделение; Институт физики полупроводников Экземпляры всего: 2 Х (1), АБН (1) Свободны: Х (1), АБН (1) |