621.3 В 852 Всесоюзная конференция по физико-химическим основам легирования полупроводниковых материалов (6; 1988; Москва). Шестая Всесоюзная конференция ..., Москва, 17-19 окт. 1988 г. : тезисы докладов / Всесоюзная конференция по физико-химическим основам легирования полупроводниковых материалов (6; 1988; Москва). - Москва : Наука , 1988. - 240 с. - Б. ц.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ (ЛЕГИРОВАНИЕ) Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |