539 В 148 Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме / Ю. З. Бубнов, М. С. Лурье, Ф. Г. Старос, Г. А. Филаретов. - Москва : Советское радио, 1975. - 161 с. : ил. - Библиогр.: с. 153-159. - 0.49 р.
Кл.слова (ненормированные): пленки тонкие -- Пленки (получение) -- Пленки (вакуум) Доп.точки доступа: Бубнов, Ю. З.; Лурье, М. С.; Старос, Ф. Г.; Филаретов, Г. А. Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |