539 П 174 Папков, Владимир Сергеевич. Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе / В. С. Папков, М. Б. Цыбульников ; ред. А. Ю. Малинин. - Москва : Энергия, 1979. - 89 с. : граф., табл., фот. - Библиогр.: с. 85-89. - 4300 экз. - 0.25 р.
Кл.слова (ненормированные): Пленки полупроводниковые -- Полупроводниковые пленки Доп.точки доступа: Цыбульников, Марк Борисович; Малинин, А. Ю. \ред.\ Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |