537 Н 479 Некоторые проблемы физики и химии поверхности полупроводников : сборник статей / Академия наук СССР, Институт физики полупроводников ; ред. А. В. Ржанов. - Новосибирск : Наука. Сибирское отделение, 1972. - 250 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - Библиография работ по пленкам нитрида кремния на полупроводниках, составитель Э.Д. Крупников, с. 234-248. - 1.56 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКИ -- поверхностные свойства -- СБОРНИКИ Доп.точки доступа: Ржанов, А. В. \ред.\; Академия наук СССРИнститут физики полупроводников Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |