621.38 П 44 Подвальный, Л. С. Физические основы микротехнологии СБИС памяти : учебное пособие / Л. С. Подвальный ; Ярославский государственный университет. - Ярославль : [б. и.], 1989. - 68 с. - 00.25 р.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие Доп.точки доступа: Ярославский государственный университет Экземпляры всего: 1 АБУ (1) Свободны: АБУ (1) |