621.38 М 96 Мьюрарка, Ш. Силициды для СБИС : перевод с английского / Ш. Мьюрарка ; пер. В. В. Баранов ; ред. Ю. Д. Чистяков. - Москва : Мир, 1986. - 176 с. - Библиогр.: с. 160-168. - 1.80 р., 1.80 р.
Кл.слова (ненормированные): Силициды -- Микроэлектронные схемы интегральные сверхбольшие Доп.точки доступа: Баранов, В. В. \пер.\; Чистяков, Ю. Д. \ред.\ Экземпляры всего: 2 Х (1), АБН (1) Свободны: Х (1), АБН (1) |