621.38 А 46 Александров, Владимир Кузьмич. Шаги к микроразмерам : Методы микроминиатюризации / Под ред. В.А. Пилиповича. - Минск : Наука и техника, 1983. - 72 с. : ил. - Библиогр.:с.71. - 15 р.
Рубрики: Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): Микроэлектроника Экземпляры всего: 1 Х (1) Свободны: Х (1) |